公司簡(jiǎn)介：

GBS mbH的一個(gè)產(chǎn)品線是基于白光干涉測(cè)量法的微納米結(jié)構(gòu)3-D表面計(jì)量，名稱為“smartWLI”

主要產(chǎn)品：

3D 光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D 傳感器

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品型號(hào)：

smartWLI nanoscan

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品介紹：

smartWLI nanoscan 配備了更高的管放大倍率、藍(lán)色 LED 照明和 5 MP 攝像頭。這使得傳感器能夠測(cè)量橫向尺寸低至約 0.4 μm 的結(jié)構(gòu)，空間采樣低至 0.03 μm。各種支架、花崗巖門戶、振動(dòng)傾倒系統(tǒng)和自動(dòng)傾斜裝置可以配置定制的光學(xué) 3d 輪廓儀，使用 smartWLI nanoscan 作為高性能測(cè)量的關(guān)鍵組件。SDK 包括 C++ 和 C# 庫(kù)以及用于示例應(yīng)用程序的源代碼，允許將傳感器輕松集成到半導(dǎo)體和光學(xué)的測(cè)量站中。

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

高速相機(jī)與大量并行數(shù)據(jù)處理相結(jié)合，可以加速數(shù)據(jù)采集和評(píng)估過(guò)程，并使系統(tǒng)堅(jiān)固耐用，對(duì)振動(dòng)的敏感度較低。這種加速功能可實(shí)現(xiàn)數(shù)個(gè) 100 次單次掃描的數(shù)據(jù)采集和拼接，典型循環(huán)時(shí)間為 1 個(gè)掃描周期。每次掃描 3 秒。數(shù)據(jù)處理包括對(duì)比度增強(qiáng)、基于模型的信號(hào)校正和數(shù)據(jù)質(zhì)量監(jiān)控，能夠在高坡度區(qū)域拾取微弱信號(hào)。

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機(jī)械特性，廣泛應(yīng)用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測(cè)量光學(xué)傳感器用途。透明、精細(xì)結(jié)構(gòu)的表面需要對(duì)更大面積進(jìn)行高分辨率測(cè)量和評(píng)估，以顯著評(píng)估表面，評(píng)估它們對(duì)特定用途的適用性并優(yōu)化制造工藝。測(cè)量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內(nèi)部使用光學(xué)全息組件的相應(yīng)測(cè)試結(jié)構(gòu)來(lái)優(yōu)化 EPSI（擴(kuò)展相移干涉測(cè)量）和 HD（高密度）- EPSI。它結(jié)合了高分辨率測(cè)量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測(cè)量范圍。

主要產(chǎn)品：

3D 光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D 傳感器

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品型號(hào)：

smartWLI nanoscan

德國(guó)gbs 微觀測(cè)量光學(xué)3D傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機(jī)械特性，廣泛應(yīng)用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測(cè)量光學(xué)傳感器用途。透明、精細(xì)結(jié)構(gòu)的表面需要對(duì)更大面積進(jìn)行高分辨率測(cè)量和評(píng)估，以顯著評(píng)估表面，評(píng)估它們對(duì)特定用途的適用性并優(yōu)化制造工藝。測(cè)量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內(nèi)部使用光學(xué)全息組件的相應(yīng)測(cè)試結(jié)構(gòu)來(lái)優(yōu)化 EPSI（擴(kuò)展相移干涉測(cè)量）和 HD（高密度）- EPSI。它結(jié)合了高分辨率測(cè)量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測(cè)量范圍。