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Crylas 高功率系列激光器產(chǎn)品介紹

1. 公司簡(jiǎn)介

Crylas GmbH 是一家位于德國(guó)柏林的制造型企業(yè)，專注于開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)固態(tài)納秒脈沖激光器，尤其在高功率紫外（UV）和深紫外（DUV）激光技術(shù)領(lǐng)域有所建樹(shù)。

2. 主要產(chǎn)品

Crylas提供的核心激光器產(chǎn)品包括：

高功率納秒脈沖激光器： 提供紫外至深紫外波段的較高單脈沖能量和平均功率輸出。

高功率皮秒脈沖激光器： 在保持較高功率的同時(shí)，提供更短的脈沖寬度。

高功率連續(xù)波（CW）激光器： 提供紫外波段的連續(xù)激光輸出。

3. 主要型號(hào) (高功率系列示例)

該系列下具有代表性的三個(gè)型號(hào)包括：

FQCW266-2000: 高功率連續(xù)波激光器，波長(zhǎng)266nm。

FDPL 266-50: 高功率納秒脈沖激光器，波長(zhǎng)266nm。

FDPL 213-50: 高功率納秒脈沖激光器，波長(zhǎng)213nm。

4. 產(chǎn)品介紹

Crylas高功率系列激光器基于其特有的激光技術(shù)，旨在提供紫外及深紫外波段較高的輸出功率（包括平均功率和單脈沖能量）。這類激光器通常采用二極管泵浦固態(tài)（DPSS）技術(shù)，結(jié)合非線性頻率轉(zhuǎn)換（如倍頻、四倍頻、五倍頻）產(chǎn)生所需的短波長(zhǎng)激光。

工作原理： 激光二極管泵浦固體增益介質(zhì)產(chǎn)生基頻紅外光，隨后通過(guò)晶體內(nèi)的非線性光學(xué)過(guò)程（如倍頻）將紅外光轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光或紫外/深紫外光，最終輸出所需波段的激光。

技術(shù)參數(shù) (典型范圍，具體型號(hào)各異)：

波長(zhǎng)： 常見(jiàn)213nm, 266nm等紫外/深紫外波段。

脈沖寬度 (脈沖型號(hào))： 納秒級(jí) (如 <10ns)。

重復(fù)頻率 (脈沖型號(hào))： 單次至數(shù)萬(wàn)赫茲可調(diào)。

平均功率： 可達(dá)數(shù)瓦 (例如266nm CW達(dá)2W，脈沖型號(hào)平均功率可達(dá)數(shù)瓦)。

單脈沖能量 (脈沖型號(hào))： 可達(dá)數(shù)十至數(shù)百微焦耳。

光束質(zhì)量： 通常較好（M2 <1.5）。

5. 優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

該系列激光器具備以下特點(diǎn)：

特定波長(zhǎng)輸出穩(wěn)定： 在紫外及深紫外波段提供相對(duì)穩(wěn)定的功率輸出。

工業(yè)適用性強(qiáng)： 設(shè)計(jì)考慮了工業(yè)環(huán)境對(duì)可靠性和使用壽命的需求。

維護(hù)相對(duì)簡(jiǎn)便： 部分型號(hào)采用風(fēng)冷或無(wú)源設(shè)計(jì)，集成度高，減少了維護(hù)復(fù)雜性。

6. 應(yīng)用領(lǐng)域

Crylas高功率紫外/深紫外激光器適用于多個(gè)需要特定短波長(zhǎng)光源的領(lǐng)域，例如：

半導(dǎo)體檢測(cè)與加工： 用于晶圓檢測(cè)、光刻掩模修復(fù)、微加工等。

精密材料加工： 應(yīng)用于脆性材料（玻璃、藍(lán)寶石等）切割、鉆孔、表面結(jié)構(gòu)化。

科學(xué)儀器與分析： 作為拉曼光譜、熒光光譜、質(zhì)譜等儀器的激發(fā)光源。